Electronic Semiconductor

新能源产业主要是源于新能源的发现和应用新能源指刚开始开发利用或正在积极研究、
有待推广的能源，如太阳能、地热能、风能、海洋能、生物质能和核聚变能等。因此这里的开发新能源的单位和企业所从事的工作的一系列过程，叫新能源产业。

工艺流程1

采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式

01 原水
02 多介质过滤器
03 增压泵
04 砂过滤器
05 炭过滤器
06 精密过滤器
07 中间水箱
08 RO前水泵
09 精密过滤器
10 RO高压泵
11 RO反渗透系统
12 RO水箱
13 RO水增压泵
14 混床
15 终端精密过滤
16 设备用水

工艺流程2

电子半导体用超纯水新工艺

01 原水
02 增压泵
03 砂过滤器
04 炭过滤器
05 软化器
06 精密过滤器
07 RO高压泵
08 RO反渗透系统
09 RO水箱
10 RO水增压泵
11 普通混床
12 抛光混床
13 终端精密过滤
14 设备用水

工艺流程3

电子半导体用超纯水新工艺

01 原水
02 增压泵
03 砂过滤器
04 炭过滤器
05 软化器
06 精密过滤器
07 中间水箱
08 RO前水泵
09 精密过滤器
10 RO高压泵
11 RO反渗透系统
12 RO水箱
13 RO水增压泵
14 EDI电去离子主机
15 终端精密过滤
17 设备用水
16 UV紫外线杀菌

工艺流程4

电子半导体用超纯水新工艺四

01 原水
02 增压泵
03 砂过滤器
04 炭过滤器
05 软化器
06 精密过滤器
07 中间水箱
08 RO前水泵
09 精密过滤器
10 RO高压泵
11 RO反渗透系统
12 RO水箱
13 RO水增压泵
14 EDI电去离子主机
15 去离子水箱
16 去离子水泵
17 抛光混床
18 终端精密过滤
19 UV紫外线杀菌
20 设备用水

工艺流程5

电子半导体用超纯水新工艺

01 原水
02 增压泵
03 增压泵
04 砂过滤器
05 炭过滤器
06 软化器
07 精密过滤器
08 中间水箱
09 RO水箱
10 RO高压泵
11 RO水箱
12 增压泵
13 EDI电去离子水主机
14 去离子水箱
15 去离子水泵
16 抛光混床
17 终端精密过滤
18 UV紫外线杀菌
19 设备用水

设备优点

半导体芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷却用水，基板晶圆片检测清洗用水，中段晶圆片溅镀、曝光、电镀、光刻、腐蚀等工艺清洗，后段检测封装清洗。LED芯片主要是前段在MOCVD外延片生长用水，中段主要在曝光、显影、去光阻清洗用水，后段检测封装用水。同时，半导体行业对TOC的要求较高。

设备优点

第一种 预处理

常用的预处理+混床纯水系统生产原理是采用树脂再生(离子交换)，通过置换反应交换水中的阴离子(CaCO32-SO42-，HCO3-等)阳(Ca2+， Mg2+，Fe2+等)离子，同时释放H＋和OH－产生纯水。

正常交换阶段，交换正常进行，阴阳树脂等比例反应，此时纯水PH值呈弱酸性偏中性，电导度正常(≤20us/cm)，设备运行正常，纯水品质稳定。

弊端：再生前交换阶段，再生前树脂失效严重，阴阳树脂未按比例交换反应，同时受其它非化学反应影响，此时纯水PH值偏或不稳定，电导度增高，水质相对较差。

由于离子交换床阀门众多，操作复杂烦琐；

离子交换法自动化操作难度大，投资高；

需要酸碱再生，再生废水必须经处理合格后排放，存在环境污染隐患；

细菌易在床层中繁殖，且离子交换树脂会长期向纯水中渗溶有机物

在含盐量高的区域，运行成本高。
第二种 反渗透纯水设备

RO反渗透膜的工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过一层反渗透膜，

而溶解在水中的绝大部分无机盐(包括重金属)、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而透过的纯水和无法透过的浓缩水严格的分开；

反渗透膜上的孔径只有0.0001um，而病毒的直径一般有0.02-0.4um，普通细菌的直径有0.4-1um。反渗透纯水机的正常工作有赖于一定的压力，这个压力必须大于渗透膜的渗透压，一般是2.8公斤/平方厘米。

在水压或水压不稳定的地区，我们建议您一定要购买有前段增压泵的反渗透纯水系统，它的工作压力可达0.3-0.6Mpa，不受自来水压限制，制水效率高,速度快、排浓缩水少。

反渗透技术是当今先进和有效的除盐技术，一级反渗透设备出水电阻率一般在0.05-0.5MΩ.CM.此纯水系统产水品质稳定，是目前比较通用的纯水生产设备，生产品质基本满足FPC/PCB生产需求
第三种 EDI电除盐超纯水系统

连续电除盐(EDI, Electro deionization或CDI, continuous electrode ionization)，是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。

这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。

这种新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18MΩ.CM的超纯水。整个工艺流程前面的部分和常规的水处理工艺没有很大区别，一般是先经过预处理，然后加药杀毒，再经过RO反渗透系统，再使用EDI设备制取超纯水

特点介绍

由于超纯水设备的工艺是根据不同的入水水质和出水要求而设计的，针对不同的原水水质特点而设计超纯水设备方案才是最经济有效的方案，同时也是出水水质长期稳定达到要求的保证。超纯水设备由于用途不一样，会有不同的制造流程，或有的把几种工艺结合起来让水质达到预期的效果，按类别可大至分为以下几种，比较常用的预处理系统，反渗透系统， EDI电除盐超纯水系统，精处理系统等.

EDI电除盐超纯水系统原理及特点：

(1)出水水质具有最佳的稳定度

(2)能连续生产出符合用户要求的超纯水

(3)模块化生产，并可实现全自动控制

(4)不需酸碱再生，无污水排放

(5)不会因再生而停机

(6)无需再生设备和化学药品储运

(7)设备结构紧凑，占地面积小

(8)运行成本和维修成本低

(9)运行操作简单，劳动强度低